Zeiss Crossbeam 350 Laser

Mehr Effizienz in multidimensionalen Workflows

5. Dezember 2019, 10:30 Uhr | Zeiss Research Microscopy Solutions
Der Femtosekundenlaser ist an die Probenschleuse montiert, wodurch eine Kontamination der Kammer während der Laserbearbeitung vermieden wird.
© Zeiss

Produkt | Bei der Untersuchung von Proben in 3D sollen Forscher nun schneller als bisher in tief unter der Oberfläche liegende Regionen gelangen. Erweiterungen im FIB-SEM ZEISS Crossbeam 350/550 und der Software Atlas 5 sollen zudem bessere Datenqualität ermöglichen.

Bei der Untersuchung von Proben in 3D gelangen Forscher in der Materialforschung und den Lebenswissenschaften nun schneller als bisher in tief unter der Oberfläche liegende Regionen. Erweiterungen im FIB-SEM Zeiss Crossbeam 350/550 und der Software Zeiss Atlas 5 ermöglichen es, multidimensionale Studien schneller durchzuführen und eine bessere Datenqualität zu erzielen. Dies ist besonders geeignet für die additive Fertigung, Elektronik, Batterieforschung, Biomaterialien und Untersuchungen biologischer Proben.

Zugang zu tief liegenden Strukturen und schnelle Bearbeitung von Objekten

Forscher, die in korrelativen Studien Röntgenmikroskopie-Daten nutzen, um im FIB-SEM die gesuchten Stellen anzusteuern, können laut Hersteller ihre Arbeitsabläufe weiter verbessern: Die neu eingeführte, patentierte LaserFIB auf Zeiss Crossbeam 350/550 ermögliche die schnelle, Gallium-freie Bearbeitung von größeren Flächen einer Probe.

Außerdem ermöglicht sie den Zugang zu tief verborgenen Strukturen. Der Materialabtrag mit dem Laser wird in einer gesonderten Kammer durchgeführt, um eine Kontamination des FIB-SEMs zu vermeiden. Der Femtosekundenlaser sorgt für einen massiven Materialabtrag in kurzer Zeit ohne störende durch den Laser verursachte Wärmeeffekte. Große Volumina können bis zu 50-mal schneller als mit einer Plasma-Ionenquelle abgetragen werden.

Mit der LaserFIB können Strukturen wie Balken für Biegeversuche und zylindrische Prüflinge für nanomechanische Tests hergestellt werden. Des Weiteren können Proben für das Röntgenmikroskop Zeiss Xradia Ultra, große Querschnitte für EBSD-Studien (Electron Backscattered Diffraction) oder ganze TEM-Netzchen präpariert werden.

Bessere Abläufe für 3D-Tomographie und Datendokumentation

Das Unternehmen stellt für Zeiss Atlas 5 Erweiterungen für die Bildgebung und 3D-Tomographie vor sowie ein Toolkit für Analyse und Reporting. Korrelative Arbeitsabläufe werden dadurch verbessert, dass das Wiederfinden von Regionen erleichtert wurde. Zum Beispiel können LaserFIB- oder FIB-SEM-Arbeiten gezielter durchgeführt werden nach erfolgreicher Korrelation mit Röntgenmikroskopiedaten.

Sobald der Anwender eine Region lokalisiert, übernimmt die »Thin & Fast Tomographie« die Arbeit. Dies ist ein Verfahren zur Tomogrammaufnahme, Schichtdickenmessung sowie besseren Visualisierung und Datenverarbeitung mit der patentierten True-Z-Technologie. Diese misst nacheinander jede Schichtdicke und rekonstruiert das Tomogramm unter Berücksichtigung der variablen z-Schichtdicke. Dadurch wird die Segmentierung der 3D-Daten erleichtert und die 3D- bzw. 4D-Modellierung genauer. (me)

Schlagworte: Zeiss, Lebenswissenschaften, Medizintechnik, Elektronik, Mikroskopie


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